富氧曝气工艺与空气曝气活性污泥法机理上基本是相同的，都是通过好氧微生物对污水中的有机物进行生化反应使污水得以净化。所不同的是前者是向污水中充富氧，后者是向污水中充空气。氧气曝气法的一大特点就是处理效率明显高于空气法。将同一污水处理到同一水平，氧气法所需曝气时间一般仅为空气法的1 /3 左右。这是因为富氧的浓度是空气中氧浓度(21%) 的4.7 倍，因此氧气法系统中氧的分压，亦即溶氧的推动力，也比空气法高4.7倍，在水中溶解氧的饱和值CS 也增加了4.7 倍，充氧速率也增加了4.7 倍，显著提高了氧的转移速率，从而使好氧微生物的浓度和活性都提高，明显改善了传统活性污泥法的不足。