随着我国光伏产业的快速发展，工业硅得到了广泛的应用，国内企业纷纷上马生产。同时随着硅使用纯度要求的不断提高，使得一些企业采用氧气来精炼工业硅，在满足市场需要的同时提高单位产品硅的价格。在激烈的市场竞争中，国内部分企业通过综合比较，选用投资少、经济性好的变压吸附制氧设备来替代传统的深冷工艺生产氧气，满足工业硅的氧气精炼。